通過上述說明可知,溫控管40的設(shè)置形式多種多樣,本實(shí)用新型并不限制溫控管40的具體設(shè)置形式,例如可以按照上述溫控管40纏繞并固定的形式,也可以按照在第二側(cè)壁22或第二底板21上安裝水套或設(shè)通道的形式,只要求保證使用時(shí)溫控管40可耐壓耐溫不出現(xiàn)滲漏或漏電現(xiàn)象即可。另一方面,本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空鍍膜設(shè)備,包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和實(shí)施例一的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi),部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體10內(nèi)。該真空鍍膜設(shè)備包括本實(shí)用新型的真空反應(yīng)腔室,因此,該真空鍍膜設(shè)備具有上述真空反應(yīng)腔室的全部***,在此不再贅述。其中,設(shè)置于外腔體10內(nèi)的部分機(jī)械模塊部件為與工藝反應(yīng)無關(guān)的一些傳動機(jī)械部件、升降機(jī)械部件等等,另一部與工藝反應(yīng)相關(guān)的機(jī)械部件,如鍍膜靶材的轉(zhuǎn)動部件等等則設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中。具體的,可以根據(jù)真空鍍膜設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)而定。該真空鍍膜設(shè)備中,由于真空反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)成內(nèi)外腔結(jié)構(gòu),同時(shí),通過設(shè)置溫控裝置,可以有效地保證工藝環(huán)境封閉、恒溫、外部污染源少,為工藝反應(yīng)提供了更為穩(wěn)定、純凈的環(huán)境。通過實(shí)際實(shí)驗(yàn)證明,反應(yīng)區(qū)域溫度環(huán)境更均勻。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,光亮、美觀,有需要可以咨詢!江蘇手機(jī)殼真空鍍膜機(jī)廠商
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時(shí),由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費(fèi),同時(shí),還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。浙江真空鍍鉻真空鍍膜機(jī)參考價(jià)寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,鎳鉻,有需要可以咨詢!
所述雙向螺紋桿遠(yuǎn)離電機(jī)的一端貫穿腔體并延伸至腔體的內(nèi)部,所述雙向螺紋桿位于腔體內(nèi)部的一端與腔體內(nèi)壁的右側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動連接。推薦的,所述雙向螺紋桿表面的兩側(cè)且位于腔體的內(nèi)部均螺紋連接有活動塊,兩個所述活動塊的底部均固定連接有限位板,并且兩個活動塊的頂部均通過第二滑軌與腔體內(nèi)壁的頂部滑動連接。推薦的,所述腔體左側(cè)的底部固定連接有抽風(fēng)機(jī),并且抽風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口的一端連通有風(fēng)管,所述風(fēng)管遠(yuǎn)離抽風(fēng)機(jī)的一端貫穿腔體并延伸至腔體的內(nèi)部。有益效果本實(shí)用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果:(1)、該高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,通過兩個寶來利真空滑軌相對的一側(cè)之間滑動連接有活動板,寶來利真空伸縮桿輸出軸的一端且位于防護(hù)框的內(nèi)部與活動板的底部固定連接,防護(hù)框頂部的兩側(cè)分別滑動連接有寶來利真空密封蓋和第二密封蓋,并且寶來利真空密封蓋和第二密封蓋相背離的一側(cè)分別與兩個第二伸縮桿的輸出軸固定連接,坩堝放置在加熱板上,通過寶來利真空伸縮桿工作可以使坩堝運(yùn)動至防護(hù)框內(nèi),兩個第二伸縮桿工作能夠控制密封蓋將防護(hù)框密封,當(dāng)鍍膜工作完成后,可以將坩堝密封在防護(hù)框內(nèi)。
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優(yōu)化鍍膜過程的溫度、壓力和時(shí)間控制:溫度對于材料的蒸發(fā)率和沉積速率有明顯影響,精確的溫度控制可以優(yōu)化膜層的均勻性和附著力。在真空環(huán)境中,控制適當(dāng)?shù)膲毫κ谴_保蒸發(fā)材料以適當(dāng)速率沉積的關(guān)鍵。改進(jìn)真空真空鍍膜機(jī)的鍍膜速度:可以通過提高真空度、使用高功率蒸發(fā)源、優(yōu)化蒸發(fā)工藝、采用多個蒸發(fā)源、使用新型材料和增加基底加熱等方式來提升鍍膜速度。優(yōu)化設(shè)備結(jié)構(gòu)和自動化控制:對真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),解決影響光學(xué)薄膜質(zhì)量和超多層精密光學(xué)薄膜鍍制的問題,提高薄膜的監(jiān)控精度,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的自動控制,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。江蘇手機(jī)殼真空鍍膜機(jī)廠商