施工結(jié)束后，承包商需要在業(yè)主監(jiān)督下對新裝防微振平臺平整度、導(dǎo)靜電值、靜態(tài)防振等級等技術(shù)指標(biāo)數(shù)值進(jìn)行測評。，需要與周圍高架地板調(diào)平，平整度要求為±3mm。，需要與華夫板固定，固定方案送業(yè)主核可實施。，平臺與華夫板之間縫隙需要做填充處理。施工結(jié)束后，承包商需要在業(yè)主監(jiān)督下對新裝防微振平臺平整度、導(dǎo)靜電值、靜態(tài)防振等級等技術(shù)指標(biāo)數(shù)值進(jìn)行測評。，需要與周圍高架地板調(diào)平，平整度要求為±3mm。，需要與華夫板固定，固定方案送業(yè)主核可實施。，平臺與華夫板之間縫隙需要做填充處理。施工結(jié)束后，承包商需要在業(yè)主監(jiān)督下對新裝防微振平臺平整度、導(dǎo)靜電值、靜態(tài)防振等級等技術(shù)指標(biāo)數(shù)值進(jìn)行測評。，需要與周圍高架地板調(diào)平，平整度要求為±3mm。，需要與華夫板固定，固定方案送業(yè)主核可實施。，平臺與華夫板之間縫隙需要做填充處理。 防微振基臺采用了質(zhì)優(yōu)的材料和先進(jìn)的制造工藝，具有很強的耐用性和抗腐蝕性。天津主動式微振基臺加工

    .1Foundation工程主要服務(wù)內(nèi)容：為滿足Array新增設(shè)備防微振等級需求，需要在對應(yīng)設(shè)備區(qū)域增加防微振機臺及相應(yīng)配套施工。（圖紙、技術(shù)規(guī)格書等）相互***，承包商必須在投標(biāo)澄清時提出。否則以嚴(yán)者為準(zhǔn)，或以業(yè)主的解釋為準(zhǔn)。，必須得到業(yè)主批準(zhǔn)。、技術(shù)規(guī)格書、發(fā)包圖紙相一致的材料和承包商法。任何由于采用了與其不一致的材料和承包商法，而引起的返工、延誤工期、額外工程費用，應(yīng)由承包商承擔(dān)。，尺寸較大或潔凈室內(nèi)搬運動線受限的平臺，采用廠外預(yù)制現(xiàn)場拼接的方式實施，拼接材料選用環(huán)氧砂漿，不可使用混凝土材料，避免產(chǎn)塵過多影響潔凈室內(nèi)潔凈度。，需要在獲得業(yè)主指令后方可進(jìn)行。施工完成后也需經(jīng)的業(yè)主書面驗收簽核后方可算施工完成。 芯片廠方微振基臺質(zhì)量防微振基臺可以為客戶提供更加高效、穩(wěn)定和可靠的生產(chǎn)環(huán)境，提高客戶的市場競爭力。

應(yīng)現(xiàn)場測試精密設(shè)備所處環(huán)境的微振動標(biāo)準(zhǔn)，并考慮環(huán)境的微振動標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行基臺的設(shè)計、制作、安裝。1.3.3廠房的fab層及有微振要求精密設(shè)備下的防微振基座平臺（以下簡稱基臺）的頂面標(biāo)高同鄰近架空地板的板面標(biāo)高，生根于其下的鋼筋砼地板上，該基座平臺的位置由防微振機器設(shè)備的位置確定。在設(shè)備的安裝和運行過程中，應(yīng)滿足基座平臺本身及其與主體結(jié)構(gòu)的連接安全。防微振基座平臺應(yīng)滿足厭振機器設(shè)備清單里各厭振機器設(shè)備的防微振要求。附圖1為防微振的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。工藝設(shè)備隔振基臺在投入使用后（動力、工藝等設(shè)備運行和人員走動等振源以及基臺上設(shè)備運行產(chǎn)生的擾動力干擾下）垂直和水平三個方向要求達(dá)到的防微振級別均采用國際通用VC曲線振動容許標(biāo)準(zhǔn)。

防微振基座平臺的設(shè)計、施工應(yīng)與土建包、潔凈包、機電包及厭振機器設(shè)備廠家及精密設(shè)備安裝方密切配合。2.2.2.8工藝設(shè)備腳位處基座不允許有拼接縫，若有后澆帶平整度容許誤差為±3mm。2.2.2.9本項目基座側(cè)模鋼板不得小于10厚，底模鋼板不得小于8厚，配筋所用螺紋鋼筋不得小于φ12并且為雙向配置。所用型鋼必須為國標(biāo)正公差,表面采用潔凈室許可的環(huán)氧烤漆處理，厚度不小于120μm。基座與華夫板的固定需采用喜利得等同等或優(yōu)于以上品牌的化學(xué)螺栓，固定螺栓埋入樓板深度不低于8cm。2.2.2.10抗震基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹脂自流平工藝進(jìn)行處理并分成三層（底涂、中涂、導(dǎo)靜電層鋪銅箔、面涂）厚度不小于3mm，導(dǎo)電值100V2.5*10^4~10^6歐母。硬度值達(dá)到50N/mm2，環(huán)氧顏色需經(jīng)過招標(biāo)人認(rèn)可。防微振平臺的減震效率是我們公司一直關(guān)注的重點，我們不斷進(jìn)行技術(shù)升級和改進(jìn)，以確保產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

    防微振等級：承重臺尺寸：長9096mm*寬9057mm*400防微振平臺表面導(dǎo)靜電環(huán)氧自流平，電阻值*104-6Ω5、平整度要求：平整度≤±3mm，whole＜±5mm，foot:：*≤±2mm，腳位間≤±3mm；機臺采用標(biāo)號C30及以上混凝土（商品混凝土）7、開孔需求：有滿足工藝設(shè)備搬入時間：、平臺施做前承包商需提前勘察華夫板平整度，若華夫板平整度較差由本承包商提前處理，以確保平**成面與四周高架地板齊平；包含不限于高架地板（含基座）拆除、華夫板破損環(huán)氧修補、防微震平臺與高架地板縫隙收邊、將防微振平臺表面預(yù)留靜電接地銅箔與潔凈室防靜電網(wǎng)對接、防微振平臺表面平整度測試、防微振平臺導(dǎo)靜電環(huán)氧電阻值測試、防微振平臺防震等級測試等。 防微振基臺的維護(hù)成本非常低，可以為客戶節(jié)省大量的時間和金錢。天津主動式微振基臺加工

防微振基臺的安裝非常簡單，只需要按照說明書進(jìn)行操作即可。天津主動式微振基臺加工

杭州赫政微振基臺是一種先進(jìn)的隔振設(shè)備，它利用精密設(shè)計的彈簧和阻尼器等，以實現(xiàn)被控對象的減振。其特點在于結(jié)構(gòu)簡潔，工作穩(wěn)定可靠，無需依賴電源，也不消耗額外的能量。杭州赫政微振基臺無論是積極隔振還是消極隔振，該基臺都能通過隔振器來降低隔振系統(tǒng)的固有頻率，從而影響系統(tǒng)的隔振傳遞系數(shù)。杭州赫政微振基臺通過這種方式，它可以有效地隔離低頻率振動，杭州赫政微振基臺確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。杭州赫政微振基臺是一種先進(jìn)的隔振設(shè)備，它利用精密設(shè)計的彈簧和阻尼器等，以實現(xiàn)被控對象的減振。其特點在于結(jié)構(gòu)簡潔，工作穩(wěn)定可靠，無需依賴電源，也不消耗額外的能量。杭州赫政微振基臺無論是積極隔振還是消極隔振，該基臺都能通過隔振器來降低隔振系統(tǒng)的固有頻率，從而影響系統(tǒng)的隔振傳遞系數(shù)。杭州赫政微振基臺通過這種方式，它可以有效地隔離低頻率振動，杭州赫政微振基臺確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。天津主動式微振基臺加工