激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個重要特性:激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。山東精密儀器激光干涉儀加工生產(chǎn)
激光干涉儀的使用方法:開機:接通電源打開電源開關(guān),1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統(tǒng)同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。江蘇機床精度激光干涉儀廠家供應激光干涉儀使用注意事項:導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。
激光干涉儀的應用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。
激光干涉儀當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。激光器的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量及壽命等指標參數(shù),都關(guān)系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數(shù),其頻率(波長)的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。正規(guī)激光干涉儀品質(zhì)保障
用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測。山東精密儀器激光干涉儀加工生產(chǎn)
激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對米進行定義??筛鶕?jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒?;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專屬模板定制。山東精密儀器激光干涉儀加工生產(chǎn)