滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng),相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶(hù)一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。探針臺(tái)開(kāi)展的研究和觀(guān)測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。浙江X8M探針臺(tái)價(jià)位
手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理:手動(dòng)探針臺(tái)是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過(guò)兩根探針以及吸片盤(pán)夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。廣東半導(dǎo)體晶圓測(cè)試探針臺(tái)探針臺(tái)的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。
探針臺(tái)由哪些部分組成?樣品臺(tái)(載物臺(tái)):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。光學(xué)元件:這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)能夠從視覺(jué)上放大觀(guān)察待測(cè)物,以便精確地將探針先進(jìn)對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。有的采用立體變焦顯微鏡,有的采用數(shù)碼相機(jī),或者兩者兼有。探針(探針卡):待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,才能與測(cè)試儀器建立連接。常見(jiàn)的有普通 DC 測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針先進(jìn)尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類(lèi)型。探針尖直接接觸被測(cè)件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。
XY 精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),由于XY 工作臺(tái)需要放置于真空腔體內(nèi),XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)越緊湊,真空腔體就越小,設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺(tái)有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費(fèi)。XY 工作臺(tái)整體處于真空腔體中,要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好,零部件材料不能逸出空氣,材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺(tái)需要完全暴露在特 種環(huán)境中,所有零部件均需要通過(guò)耐腐蝕、耐低溫 性等試驗(yàn),對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購(gòu)件,如果沒(méi) 有合適的型號(hào)滿(mǎn)足上述要求,需要對(duì)相應(yīng)外購(gòu)件 加裝特制密封裝置,使外購(gòu)件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。探針臺(tái)的技術(shù)需要不斷推陳出新。
配置您的探針臺(tái),從這些探針臺(tái)基礎(chǔ)知識(shí)開(kāi)始,您應(yīng)該就您的測(cè)試要求提出一些問(wèn)題,這些問(wèn)題將允許您指定您的探針臺(tái)所需的選項(xiàng):您需要什么級(jí)別的自動(dòng)化?您的測(cè)試將如何影響所選探針?您是否需要控制設(shè)備周?chē)臏囟群彤?dāng)?shù)丨h(huán)境?您需要光刺激還是磁刺激?您正在探測(cè)什么尺寸的特征?您將如何聯(lián)系被測(cè)設(shè)備?探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)是人類(lèi)探索宇宙的一個(gè)重要基石。浙江X8M探針臺(tái)價(jià)位
探針臺(tái)的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。浙江X8M探針臺(tái)價(jià)位
探針臺(tái)是晶圓輸送與定位任務(wù)的承擔(dān)者,檢測(cè)半導(dǎo)體芯片電、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。CP 測(cè)試環(huán)節(jié)中,探針臺(tái)首先將晶圓移動(dòng)至晶圓相機(jī)下,確定晶圓的坐標(biāo)位置;再將探針相機(jī) 移動(dòng)至探針卡下,確定探針卡的坐標(biāo)位置,當(dāng)確定二者位置后,即通過(guò)載片臺(tái)將晶圓移動(dòng) 至探針卡下實(shí)現(xiàn)對(duì)針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺(tái)、RF 探針臺(tái)、LCD &TEG探針臺(tái)、光電探針臺(tái)等,當(dāng)晶圓依次與探針接觸完成測(cè)試后,探針臺(tái)記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片, 并在進(jìn)入后序工序前予以剔除,以保障質(zhì)量與可靠性,降低器件的制造成本。浙江X8M探針臺(tái)價(jià)位
深圳市泰克光電科技有限公司是一家半導(dǎo)體器件及LED發(fā)光二極管及生產(chǎn)設(shè)備,半導(dǎo)體及LED發(fā)光二極管的封裝材料的研發(fā)與銷(xiāo)售,半導(dǎo)體器件檢測(cè)儀器的軟件開(kāi)發(fā)及銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口。(法律、行政法規(guī)決定禁止的項(xiàng)目除外,限制的項(xiàng)目須取得許可后方可經(jīng)營(yíng))半導(dǎo)體器件及LED發(fā)光二極管及生產(chǎn)設(shè)備,半導(dǎo)體及LED發(fā)光二極管的封裝材料,半導(dǎo)體器件檢測(cè)儀器的軟件生產(chǎn)。的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí)、誠(chéng)實(shí)可信的企業(yè)。泰克光電作為能源的企業(yè)之一,為客戶(hù)提供良好的探針臺(tái),芯片測(cè)試機(jī),藍(lán)膜編帶機(jī),分光編帶機(jī)。泰克光電始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。泰克光電創(chuàng)始人彭義青,始終關(guān)注客戶(hù),創(chuàng)新科技,竭誠(chéng)為客戶(hù)提供良好的服務(wù)。