夾取機(jī)構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,由升降裝置帶動(dòng)承載裝置下降到檢測位置,能夠防止因夾取機(jī)構(gòu)夾不緊,使得晶圓從高處跌落,造成損壞的情況發(fā)生,使得晶圓運(yùn)輸更加安全可靠。附圖說明圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺檢測機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)的立體圖;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的立體圖;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的移動(dòng)模塊的立體圖;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的托臂、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖中,、感應(yīng)裝置;、承接裝置;、托臂;、限位部;、承托部;、升降裝置;、升降驅(qū)動(dòng)器;、升降板;、安裝板;、升降絲桿機(jī)構(gòu);、聯(lián)軸器;、移動(dòng)模塊;、固定板;、移動(dòng)電機(jī);、傳動(dòng)組件;、主動(dòng)輪;、從動(dòng)輪;、同步帶;、滑軌;、滑塊;、連接塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電|#共晶機(jī)廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家。貴陽倒裝共晶機(jī)生產(chǎn)廠家
從動(dòng)輪盤與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。底板上對應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在軸承上。推薦的,底板還設(shè)置有相對設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間。其中,齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,也即如圖所示,齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈。軸承可為法蘭軸承,數(shù)量可為兩個(gè),兩個(gè)軸承分別設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,且每個(gè)軸承設(shè)置在一個(gè)限位輪座上,軸承與限位輪座均位于驅(qū)動(dòng)輪盤的下方。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動(dòng)輪盤,使驅(qū)動(dòng)輪盤能夠轉(zhuǎn)動(dòng),且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動(dòng)輪盤的位置,同時(shí)還可使得固定架在水平設(shè)置時(shí),從動(dòng)輪盤與底板泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。淄博FDB211共晶機(jī)多少錢專業(yè)批發(fā)共晶機(jī)廠家找泰克光電。
-第二限位盤;-晶圓。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。如圖和圖所示,本實(shí)施例提供一種晶圓加工固定裝置,用于在晶圓的清洗步驟中,固定晶圓。該晶圓加工固定裝置包括安裝座、固定架和片盒架。固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在安裝座上,片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在固定架上。固定架能夠帶動(dòng)片盒架一起轉(zhuǎn)動(dòng),且片盒架能夠同步相對固定架自轉(zhuǎn),固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。可以理解的是,固定架的旋轉(zhuǎn)軸線也即是固定架圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸所在的直線,片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線也即是片盒架自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸所在的直線。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。
固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè)。控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來回移動(dòng),以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和同步帶,主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端,從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板上,主動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過同步帶相連接,托臂固定連接在同步帶上。主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板的底側(cè),主動(dòng)輪與移動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。通過移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)同步帶移動(dòng),使得從動(dòng)輪隨之轉(zhuǎn)動(dòng)。主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和同步帶的連接傳動(dòng)比準(zhǔn)確,結(jié)構(gòu)緊湊,耐磨性好,抗老化性能好。托臂固定連接在同步帶的一處。共晶機(jī)/固晶機(jī)找泰克光電。
本實(shí)施例晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線是非共線的,所以固定架能夠帶動(dòng)片盒架在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn),使得片盒架能夠與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案??梢允菇菰谇逑匆褐械木A充分清洗,提高終的清洗效果;且片盒架能夠自轉(zhuǎn),使得放置在片盒架上的晶圓的各個(gè)位置與清洗液的接觸更加均勻,提高了晶圓清洗的均勻性,為后續(xù)晶圓的加工提高了更好的保障,提高了晶圓的加工精度。進(jìn)一步的,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的片盒架的數(shù)量為多個(gè),多個(gè)片盒架沿固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在固定架上。例如,如圖所示,片盒架的數(shù)量為個(gè)。共晶機(jī)(Sub/LD)找半導(dǎo)體封裝設(shè)備,泰克光電。上海固晶共晶機(jī)廠家直銷
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因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),Si表面向深層移動(dòng),距離為SiO2膜厚的。因此,不同厚度的SiO2膜,去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,通過光干涉來估計(jì)膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,如果預(yù)告知道是幾次干涉,就能正確估計(jì)。對其他的透明薄膜,如知道其折射率,也可用公式計(jì)算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時(shí),看不到干涉色,但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si的界面能級(jí)密度低,約為10E+10--10E+11/cm?數(shù)量級(jí)。(100)面時(shí),氧化膜中固定電荷較多,固定電荷密度的大小成為左右閾值的主要因素。晶圓熱CVD熱CVD(HotCVD)/(thermalCVD),此方法生產(chǎn)性高,梯狀敷層性佳(不管多凹凸不平,深孔中的表面亦產(chǎn)生反應(yīng),及氣體可到達(dá)表面而附著薄膜)等,故用途極廣。膜生成原理,例如由揮發(fā)性金屬鹵化物(MX)及金屬有機(jī)化合物(MR)等在高溫中氣相化學(xué)反應(yīng)(熱分解,氫還原、氧化、替換反應(yīng)等)在基板上形成氮化物、氧化物、碳化物、硅化物、硼化物、高熔點(diǎn)金屬、金屬、半導(dǎo)體等薄膜方法。貴陽倒裝共晶機(jī)生產(chǎn)廠家