槽式清洗機(jī)以高效、可靠和批量清洗等特性被應(yīng)用。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數(shù)字化圖形尺寸變小,為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果,對(duì)槽式清洗機(jī)的要求越來越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置,以提高晶圓的清洗均勻性。本發(fā)明的目的還在于提供一種晶圓加工設(shè)備,以提供晶圓的清洗均勻性。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置,包括安裝座、固定架和片盒架,所述固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述固定架上;所述固定架能夠帶動(dòng)所述片盒架一起轉(zhuǎn)動(dòng)。口碑好的高精度共晶機(jī)找泰克光電。萍鄉(xiāng)全自動(dòng)共晶機(jī)廠商
作為推薦方案,所述固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,所述托臂的底部通過滑塊滑動(dòng)連接在所述滑軌上,所述滑塊的頂部與所述托臂的底側(cè)固定連接,所述滑塊的底部與所述滑軌滑動(dòng)連接。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比,其有益效果在于:本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓移載機(jī)構(gòu)包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,承接裝置包括托臂。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。托臂安裝在升降裝置上,可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下,晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,并將信息反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,盡量接近晶圓的位置。廈門固晶共晶機(jī)價(jià)格COC共晶機(jī)“共晶臺(tái)采用電流脈沖加熱模塊,設(shè)有氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng)”找泰克光電。
隨同步帶移動(dòng)而左右移動(dòng)。托臂通過連接塊與同步帶固定連接,連接塊的底部固定連接在同步帶上,連接塊的頂部與托臂的底部固定連接。托臂位于固定板的頂側(cè),以便托住晶圓。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè),托臂通過連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固。具體地,托臂的數(shù)量為兩個(gè),各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上,移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng),使得各托臂在固定板上做張合運(yùn)動(dòng)。一個(gè)托臂通過一個(gè)連接塊粘附在同步帶的前側(cè),另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側(cè)。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動(dòng)托臂往不同方向移動(dòng),實(shí)現(xiàn)兩個(gè)托臂在固定板上做張合運(yùn)動(dòng)。工作人員可根據(jù)不同規(guī)格的晶圓,通過控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)同步帶和從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。
泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的,以使固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn)。固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實(shí)現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,由于在清洗晶圓的過程中,一般清洗槽是水平放置的,固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng),以帶動(dòng)片盒架在清洗槽的不同深度移動(dòng),片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如圖所示的,與固定架的旋轉(zhuǎn)軸線平行的水平軸,也可是與水平面垂直的豎直軸等。本實(shí)施例主要以片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線與固定架的旋轉(zhuǎn)軸線平行為例進(jìn)行說明。本實(shí)施例晶圓加工固定裝置,在使用過程中,先將晶圓放置到片盒架上,然后將片盒架安裝到固定架上,固定架通過安裝座安裝在清洗槽上,而后通過固定架帶動(dòng)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),片盒架同步自轉(zhuǎn),使得片盒架上的晶圓與清洗槽內(nèi)的清洗液(藥液)充分接觸,完成晶圓的清洗操作。高精度TO共晶機(jī)價(jià)格怎么樣加工TO共晶機(jī),泰克光電。
可同時(shí)橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動(dòng)。本實(shí)用新型的工作過程為:使用者需要搬運(yùn)晶圓時(shí)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。可先根據(jù)晶圓的尺寸,設(shè)定兩個(gè)托臂之間的間距,具體操作為:通過控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng),使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的兩個(gè)連接塊帶動(dòng)兩個(gè)托臂做相向移動(dòng)或相背運(yùn)動(dòng)。晶圓視覺檢測(cè)機(jī)上的夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,并將位置信息反饋給控制系統(tǒng)??刂葡到y(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降絲桿機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降板上下移動(dòng),使得固定在升降板頂側(cè)的固定板隨之移動(dòng)。托臂通過滑軌和滑塊滑動(dòng)連接在固定板的頂側(cè),固定板在豎直方向上移動(dòng)時(shí),托臂隨之上下移動(dòng)。高精度TO共晶機(jī)價(jià)格怎么樣?找泰克光電。溫州貼片共晶機(jī)行價(jià)
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升降板滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上。進(jìn)一步地,為了使托臂能夠在水平方向上自由移動(dòng)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,托臂通過移動(dòng)模塊安裝在升降板上,移動(dòng)模塊與控制系統(tǒng)電連接,移動(dòng)模塊安裝在升降板的頂部且與托臂的底部連接,用于驅(qū)動(dòng)托臂在升降板上沿水平方向來回滑動(dòng)??刂葡到y(tǒng)控制移動(dòng)模塊在水平方向上來回移動(dòng),以帶動(dòng)托臂在升降板的頂部來回移動(dòng)。移動(dòng)模塊包括固定板、移動(dòng)電機(jī)和傳動(dòng)組件,固定板水平安裝在升降板上,移動(dòng)電機(jī)固定安裝在固定板上且與控制系統(tǒng)電連接,移動(dòng)電機(jī)的輸出端與傳動(dòng)組件的輸入端連接,傳動(dòng)組件的輸出端與托臂連接,移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件帶動(dòng)托臂在固定板上滑動(dòng)。萍鄉(xiāng)全自動(dòng)共晶機(jī)廠商