蝸桿旋轉(zhuǎn)的同時(shí)通過與兩個(gè)支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進(jìn)行提升，進(jìn)而可對板材進(jìn)行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機(jī)與第二電機(jī)反轉(zhuǎn)，即可重復(fù)作業(yè)，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機(jī)械手進(jìn)行移動，以增加機(jī)械手對板材的移動范圍。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單易于實(shí)現(xiàn)，通過各個(gè)部件間的相互配合可對板材進(jìn)行穩(wěn)固的夾取并提升，節(jié)約了人力勞動提高了效率，除此之外機(jī)械手還可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行操作，以保護(hù)人身安全。附圖說明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動化設(shè)備的機(jī)械手的三角形傳動件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1立柱、2第1電機(jī)、3第二電機(jī)、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉(zhuǎn)盤、12第二轉(zhuǎn)盤、13轉(zhuǎn)軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉(zhuǎn)桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例只只是本發(fā)明一部分實(shí)施例。六合區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區(qū)包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

    所述蝸桿的底端貫穿安裝板的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，所述蝸桿的底端安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板的頂壁上同樣開設(shè)有轉(zhuǎn)槽，所述轉(zhuǎn)槽內(nèi)同樣設(shè)有限位板，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離移動夾板的一端貫穿固定夾板的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離移動夾板的一端分別安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板與移動夾板相對一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有防滑齒。地，所述橫板上開設(shè)有與三角形傳動件相匹配的矩形槽。地，所述安裝板靠近立柱一側(cè)的側(cè)壁上安裝有滑塊，所述立柱的側(cè)壁上開設(shè)有與滑塊相互配合的豎向滑槽。地，所述立柱的底部安裝有滑輪。本發(fā)明中，分別將第1電機(jī)和第二電機(jī)接通電源，先將第二電機(jī)進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第二電機(jī)轉(zhuǎn)動時(shí)帶動第1轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，第1轉(zhuǎn)盤通過三角形傳動件可將兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動，同時(shí)兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤上均安裝的轉(zhuǎn)桿可與移動夾板進(jìn)行嚙合，因此轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動時(shí)可迫使移動夾板向固定夾板進(jìn)行移動，進(jìn)而在固定夾板與移動夾板的相互配合下可對板材進(jìn)行夾緊，固定夾板與移動夾板上安裝的防滑齒可防止板材滑落，增加穩(wěn)定性，將板材夾緊后，打開第1電機(jī)并將第1電機(jī)進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第1電機(jī)通過驅(qū)動端安裝的斜齒輪可將蝸桿進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。江寧區(qū)多功能氣動懸臂吊品牌溧水區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41，所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機(jī)械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號探測設(shè)備。使用時(shí)，升降軸1進(jìn)行機(jī)械手的豎直上升下降工作，旋轉(zhuǎn)軸2進(jìn)行機(jī)械手的水平旋轉(zhuǎn)工作，伸展軸3進(jìn)行機(jī)械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本申請中伸展軸3中的一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動，一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動機(jī)構(gòu)，通過一級關(guān)節(jié)5、二級關(guān)節(jié)6和三級關(guān)節(jié)7之間的一級同步帶52和二級同步帶64在一級伸展臂31轉(zhuǎn)動的同時(shí)，帶動二級伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動，在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動的同時(shí)讓手指固定座33始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。這種方式不僅簡化了整個(gè)伸展軸3傳動結(jié)構(gòu)，共用一個(gè)傳動系后不僅提高了運(yùn)行精度、重復(fù)定位精度，又提高了機(jī)械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機(jī)械手可以通過設(shè)定在機(jī)械手后方的掃描傳感器42，自動掃描片盒中晶片的狀態(tài)（包括：有，無，重片，斜片），通過數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。江寧區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機(jī)34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33，所述的一級伸展臂31與所述伸展電機(jī)34之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)5，所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)6，所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)7。所述的伸展電機(jī)34通過諧波減速機(jī)35驅(qū)動所述一級伸展臂31轉(zhuǎn)動。所述的伸展電機(jī)34、所述的一級關(guān)節(jié)5、所述的二級關(guān)節(jié)6和所述的三級關(guān)節(jié)7依次傳動，所述的一級關(guān)節(jié)5、所述的二級關(guān)節(jié)6和所述的三級關(guān)節(jié)7的傳動比為1:2:1，根據(jù)本機(jī)械手的運(yùn)動原理，所述的手指固定座34始終保持直線運(yùn)動。所述的一級關(guān)節(jié)5上設(shè)置有一級同步輪51，所述的二級關(guān)節(jié)6上設(shè)置有二級同步輪61，所述的一級同步輪51和所述的二級同步輪61通過一級同步帶52傳動連接，所述的一級伸展臂31內(nèi)還設(shè)置有與所述一級同步帶52相配合的一級張緊輪53。所述的二級關(guān),6上設(shè)置有三級同步輪62，所述的三級關(guān)節(jié)7上設(shè)置有四級同步輪71，所述的三級同步輪63和所述的四級同步輪71通過二級同步帶64傳動連接，所述的二級伸展,32內(nèi)還設(shè)置有與所述二級同步帶64相配合的二級張緊輪63。高淳區(qū)室內(nèi)深加工氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區(qū)包裝袋氣動懸臂吊哪里可以買到

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上海勁容自動化設(shè)備有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。目前我公司在職員工以90后為主，是一個(gè)有活力有能力有創(chuàng)新精神的團(tuán)隊(duì)。公司以誠信為本，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通，我們本著對客戶負(fù)責(zé)，對員工負(fù)責(zé)，更是對公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù)，我們相信誠實(shí)正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情，將為公司和個(gè)人帶來共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過幾年的發(fā)展，已成為氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通行業(yè)出名企業(yè)。