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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-27

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過(guò)后述的第1起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過(guò)后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個(gè)例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個(gè)例子。如圖3所示,第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個(gè)銷(xiāo)。該銷(xiāo)進(jìn)入物品2的槽部,由此相對(duì)于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。棲霞區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!泉山區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

    能夠比第1、第二起重機(jī)40a、40b更快移動(dòng),因此通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運(yùn),從而能夠在短時(shí)間內(nèi)搬運(yùn)物品2。這樣,將第1、第二起重機(jī)40a、40b與高架搬運(yùn)車(chē)50的作用分開(kāi),由此能夠使搬運(yùn)系統(tǒng)100整體的物品2的搬運(yùn)效率提高。另外,將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11由第1起重機(jī)40a與高架搬運(yùn)車(chē)50共享,并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車(chē)50共享,因此無(wú)需另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道10的鋪設(shè)所需要的成本。另外,高架搬運(yùn)車(chē)50能夠在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛,因此如圖5的單點(diǎn)劃線所示,能夠在與第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,在產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b的故障、或者產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b因其他物品2的搬運(yùn)而顧及不到等狀況的情況下,能夠暫時(shí)通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行與裝載端口lp之間的物品2的交接,能夠防止搬運(yùn)效率的降低。并且,高架搬運(yùn)車(chē)50在作為從其他區(qū)域搬運(yùn)來(lái)的物品2的搬運(yùn)目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運(yùn)的情況),保持原樣地將物品2搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp,由此能夠提高物品2的搬運(yùn)效率。寶山區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)原理江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù):在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車(chē)、和沿著與高架搬運(yùn)車(chē)的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng),因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車(chē)和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車(chē)與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手。背景技術(shù):在自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)加工的過(guò)程中,很多時(shí)候需要借助相應(yīng)的機(jī)械手來(lái)實(shí)現(xiàn)工件抓取移送;其中,通過(guò)真空吸盤(pán)吸附抓取產(chǎn)品的機(jī)械手應(yīng)用于非常。其中,對(duì)于現(xiàn)有的機(jī)械手而言,一般通過(guò)X軸驅(qū)動(dòng)線性模組、Y軸驅(qū)動(dòng)線性模組相配合來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng),或者通過(guò)水平氣缸、豎向氣缸相配合來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng);對(duì)于上述機(jī)械手而言,結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,該新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,包括有機(jī)械手安裝架,機(jī)械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板,固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座,豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接;固定安裝豎板的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板、前端活動(dòng)架,前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè),中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副。江寧區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!

    但本發(fā)明并不限定于上述的說(shuō)明,在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如,在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,也可以在高架搬運(yùn)車(chē)50的移動(dòng)路徑中配置儲(chǔ)料機(jī)(自動(dòng)倉(cāng)庫(kù))等。儲(chǔ)料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車(chē)50可以能夠針對(duì)該儲(chǔ)料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接,例如,能夠在儲(chǔ)料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外,在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請(qǐng)的日本特愿2017-128570、和在本說(shuō)明書(shū)中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說(shuō)明sa1…第1保管區(qū)域;sa2…第二保管區(qū)域;ta1…第1裝置區(qū)域;ta2…第二裝置區(qū)域;lp…裝載端口;tl1…第1處理裝置;tl2…第二處理裝置;2…物品;2a…凸緣部;10…頂棚軌道;11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道;12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道;13…第1區(qū)段間頂棚軌道;14…第二區(qū)段間頂棚軌道;15…第1連接軌道;16…第二連接軌道;20a…第1保管部;20b…第二保管部;30a…第1交接端口;30b…第二交接端口;40a…第1起重機(jī);40b…第二起重機(jī);41a…第1行駛部;41b…第二行駛部;42a…第1桅桿;42b…第二桅桿;43a…第1升降臺(tái);43b…第二升降臺(tái)。江寧區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!普陀區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)

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    在圖1至圖3中包括有:1——機(jī)械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動(dòng)槽12——豎板固定座2——中間活動(dòng)板3——前端活動(dòng)架4——水平導(dǎo)軌副41——水平導(dǎo)軌42——水平滑塊5——豎向?qū)к壐?1——豎向?qū)к?2——豎向滑塊61——吸盤(pán)安裝架62——真空吸盤(pán)71——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊72——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸73——軸承8——機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)9——驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說(shuō)明。如圖1至圖3所示,一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,包括有機(jī)械手安裝架1,機(jī)械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11,固定安裝豎板11的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座12,豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進(jìn)一步的,固定安裝豎板11的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板2、前端活動(dòng)架3,前端活動(dòng)架3位于中間活動(dòng)板2的前端側(cè),中間活動(dòng)板2與固定安裝豎板11之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副4,前端活動(dòng)架3與中間活動(dòng)板2之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?,前端活動(dòng)架3的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架61,吸盤(pán)安裝架61裝設(shè)有真空吸盤(pán)62。更進(jìn)一步的,固定安裝豎板11的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽111,前端活動(dòng)架3螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊71。泉山區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

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