由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。第1、第二保管部20a、20b在各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向對置配置。第1保管部20a配置于相對于第1區(qū)段內頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。第二保管部20b配置于相對于第二區(qū)段內頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯開的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設置兩層。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設置一層或者三層以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以設置于地板面上，來代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結構，第1、第二保管部20a、20b中的一個或者多個作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實施方式中。浦口區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！六合區(qū)米袋真空搬運機原理

    其具備沿著第二區(qū)段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，上述行駛部沿著第1區(qū)段內頂棚軌道、第二區(qū)段內頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外。沛縣常見真空搬運機哪家的好浦口區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！

    在圖1至圖3中包括有：1——機械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導軌副41——水平導軌42——水平滑塊5——豎向導軌副51——豎向導軌52——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅動塊72——活動架驅動軸73——軸承8——機械手驅動電機9——驅動軸撥動塊。具體實施方式下面結合具體的實施方式來對本實用新型進行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架1，機械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側裝設有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進一步的，固定安裝豎板11的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3，前端活動架3位于中間活動板2的前端側，中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副4，前端活動架3與中間活動板2之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副5，前端活動架3的下端部裝設有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設有真空吸盤62。更進一步的，固定安裝豎板11的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽111，前端活動架3螺裝有活動架驅動塊71。

    搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。雨花臺區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！

    能夠將在第1、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320，第1、第二起重機40能夠進行物品2的交接。另外，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。另外，第1、第二起重機40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運物品2。此外，在圖10中，示出設置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結構，是在裝載端口lp的上方不設置保管部220，在第1、第二處理裝置tl1、tl2與第1、第二處理裝置tl1、tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設置保管架80的結構。例如，也可以是在圖1所示的第1處理裝置tl1與第1處理裝置tl1之間、或者第二處理裝置tl2與第二處理裝置tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設置保管架80的結構。根據(jù)該結構，與上述相同地，能夠將在第1、第二處理裝置tl1、tl2間(裝載端口lp間)產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。這樣，通過配置保管部220、和具備保管部320的保管架80，在搬運系統(tǒng)100中，能夠容易地使物品2的保管數(shù)量增大。此外，在搬運系統(tǒng)100中，保管部220或者保管架80的設置數(shù)量能夠任意地設定。以上，對實施方式進行了說明。江寧區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家！徐州常見真空搬運機有幾種

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    另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會影響的吸盤材質的選擇。權利要求1.一種新型真空搬運機械手，含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，其特征是移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋轉360°，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，立柱頂端與大側板右側下端相連接，大側板內設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，大側板上設有內側板，主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂可旋轉300°，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置，旋轉臂末端設有垂臂旋轉座。六合區(qū)米袋真空搬運機原理