葉片2的首端21靠近底座1的一側(cè)面上設(shè)有可伸入定位孔12中轉(zhuǎn)動(dòng)的固定軸23,也即葉片2的轉(zhuǎn)動(dòng)是繞固定軸23進(jìn)行的,當(dāng)然葉片2與底座1間的轉(zhuǎn)動(dòng)連接還可以是其它方式,比如在葉片2上設(shè)置定位孔而在底座1上設(shè)置固定軸等方式;葉片2遠(yuǎn)離底座1的一側(cè)面上設(shè)有導(dǎo)柱24,導(dǎo)柱24的設(shè)置位置相對(duì)固定軸23靠近葉片2的尾端22,滑環(huán)41上設(shè)有可供導(dǎo)柱24伸入其中滑動(dòng)并在滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)葉片2的尾端22繞葉片2的首端21轉(zhuǎn)動(dòng)的導(dǎo)槽42,同樣的,也可以將導(dǎo)柱設(shè)置在滑環(huán)41上而將導(dǎo)槽設(shè)置在葉片2上,同時(shí),為了使滑環(huán)41轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),光闌3的大小調(diào)節(jié)速度更為均勻穩(wěn)定,將導(dǎo)槽42設(shè)置為與葉片2的圓弧形狀彎曲方向一致的弧形,這樣也可以使得束徑約束器外觀更為美觀。作為一種推薦實(shí)施例,滑環(huán)41的外周設(shè)有齒圈43,驅(qū)動(dòng)組件包括能與齒圈43嚙合的齒輪44及驅(qū)動(dòng)齒輪44轉(zhuǎn)動(dòng)的伺服電機(jī)45,伺服電機(jī)45可以固定在底座1上。當(dāng)然,可以想象,能夠?qū)崿F(xiàn)滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)的方式還可以是其它方式,比如采用皮帶、鏈條結(jié)合電機(jī)進(jìn)行,或者在滑環(huán)41外周設(shè)置外螺紋并采用絲桿進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。如圖7所示。成都國(guó)泰真空鍍膜機(jī)怎么樣?北京真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
達(dá)到修正面形誤差的目的,其加工精度達(dá)到納米級(jí)。射頻(rf)離子源采用磁感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,因此是無(wú)極放電,放電室內(nèi)鎢燈絲作為陰極,鎢燈絲可在反應(yīng)氣體中長(zhǎng)時(shí)間工作,**降低了對(duì)離子束帶來(lái)的污染。由于射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒有雙電荷離子,因此使屏柵濺射引起的污染尤為小,同時(shí)也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學(xué)系統(tǒng),既提高了拔出效率,又保證了結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性及防污染的可靠性。離子源工作時(shí),氣體通過(guò)石英放電室,通過(guò),離化氣體產(chǎn)生等離子體。帶電粒子經(jīng)由靜電場(chǎng)加速,控制離子束電壓,增大放電室功率,提高放電等離子體濃度,在經(jīng)過(guò)離子三柵光學(xué)系統(tǒng)的聚焦加速形成一定能量的離子束?,F(xiàn)有技術(shù)中的射頻離子源離子束束徑是通過(guò)位于離子源內(nèi)部的三級(jí)柵網(wǎng)設(shè)計(jì)的位置及形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)的,調(diào)節(jié)時(shí)需要反復(fù)更換柵網(wǎng)以實(shí)現(xiàn)束徑調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)效率低,同時(shí),現(xiàn)有的柵網(wǎng)均為曲面柵網(wǎng),如圖1所示,從而使得加工制造較為困難,并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度,加工成本高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:鑒于上述問(wèn)題,本發(fā)明的目的在于提供一種束徑調(diào)節(jié)方便的射頻離子源離子束束徑約束器。天津射頻離子源多少錢射頻離子源,實(shí)現(xiàn)高精度鍍膜。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng),在此區(qū)電子密度高,進(jìn)而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí)),濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出
【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating:在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法?;瑂ubstrate:膜層承受體。試驗(yàn)基片testingsubstrate:在鍍膜開始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和(或)試驗(yàn)的基片。鍍膜材料coatingmaterial:用來(lái)制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial:在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial:有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial:組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔濺射速率sputteringrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。沉積速率depositionrate:在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。國(guó)產(chǎn)真空鍍膜機(jī)廠商推薦。
【真空鍍膜機(jī)沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對(duì)于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運(yùn)行后),由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定,這時(shí)對(duì)它們進(jìn)行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?,通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應(yīng)氣體工藝,可以進(jìn)行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0)和還原性氣體(H2、NH3)對(duì)金屬表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì),表面反應(yīng)速率的da小通過(guò)調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來(lái)控制。對(duì)于每一種基材而言,精確的參數(shù)要通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定.對(duì)于不同的結(jié)晶取向,這些參數(shù)是不同的。真空鍍膜機(jī)的培訓(xùn)資料。山西光學(xué)鍍膜射頻離子源價(jià)格
真空鍍膜機(jī)常見故障及解決方法。北京真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
【射頻離子源簡(jiǎn)介】:國(guó)泰真空射頻離子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、濾光片等精密光學(xué)鍍膜的離子束輔助沉積和離子束清洗等,是公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)全自主研發(fā)近3年時(shí)間研發(fā)出的國(guó)產(chǎn)射頻離子源,屬于國(guó)內(nèi)大直徑射頻離子源。打破了國(guó)外制造商長(zhǎng)期對(duì)國(guó)產(chǎn)鍍膜行業(yè)的技術(shù)封鎖,同時(shí)也激勵(lì)了國(guó)內(nèi)的同行制造業(yè)。離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級(jí),在國(guó)內(nèi)也是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時(shí)間長(zhǎng)、對(duì)膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點(diǎn)。北京真空鍍膜射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)
成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司是以提供光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備為主的有限責(zé)任公司,公司成立于2013-06-26,旗下錦成國(guó)泰,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。國(guó)泰真空以光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備為主業(yè),服務(wù)于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備等領(lǐng)域,為全國(guó)客戶提供先進(jìn)光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備。產(chǎn)品已銷往多個(gè)國(guó)家和地區(qū),被國(guó)內(nèi)外眾多企業(yè)和客戶所認(rèn)可。