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所述蝸桿與斜齒輪相互嚙合，所述蝸桿的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有安裝板，所述安裝板遠(yuǎn)離立柱一側(cè)的側(cè)壁上安裝有橫板，所述橫板遠(yuǎn)離安裝板一端的底壁上安裝有固定夾板，所述橫板的頂壁上安裝有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端安裝有第1轉(zhuǎn)盤，所述第1轉(zhuǎn)盤遠(yuǎn)離第二電機(jī)一側(cè)的側(cè)壁上安裝有轉(zhuǎn)軸，所述第1轉(zhuǎn)盤的外側(cè)設(shè)有三角形傳動(dòng)件，所述轉(zhuǎn)軸與三角形傳動(dòng)件的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述三角形傳動(dòng)件的底端貫穿橫板的頂壁并延伸至的橫板的下側(cè)，所述三角形傳動(dòng)件的外側(cè)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤，兩個(gè)所述第二轉(zhuǎn)盤靠近三角形傳動(dòng)件一側(cè)的側(cè)壁上同樣安裝有轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)軸分別轉(zhuǎn)動(dòng)在三角形傳動(dòng)件的底端，兩個(gè)所述第二轉(zhuǎn)盤遠(yuǎn)離三角形傳動(dòng)件一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有...

所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)的傳動(dòng)比為1:2:1。上述技術(shù)方案中，的，所述的伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有一級(jí)同步輪，所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有二級(jí)同步輪，所述的一級(jí)同步輪和所述的二級(jí)同步輪通過一級(jí)同步帶傳動(dòng)連接。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述一級(jí)同步帶相配合的一級(jí)張緊輪。上述技術(shù)方案中，的，所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有三級(jí)同步輪，所述的三級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有四級(jí)同步輪，所述的三級(jí)...

而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置以使得機(jī)械手的移動(dòng)范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機(jī)2，第1電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板10，兩個(gè)支撐板1...

本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手運(yùn)行速度低，定位精度差的問題。本機(jī)械手包含3個(gè)軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個(gè)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)分別為一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)之間的傳動(dòng)比為1:2:1，伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)，通過一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)帶動(dòng)二級(jí)伸展臂和手指固定座的移動(dòng)，間接將第1級(jí)關(guān)節(jié)遠(yuǎn)端的一級(jí)同步帶輪變?yōu)橹鲃?dòng)輪，通過這種結(jié)構(gòu)，可以在一級(jí)伸展臂和二級(jí)伸展臂移動(dòng)時(shí)，保持手指固定座的始終直線運(yùn)動(dòng)，既晶圓中心始終保持直線運(yùn)動(dòng)，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機(jī)械手整體強(qiáng)度，達(dá)到高速度運(yùn)行和重復(fù)定位精度高的雙...

隔著所述電容器的配置位置在所述第1電力電路或所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置的相反側(cè)存在所述檢測(cè)電路的配置位置。由此，能夠進(jìn)一步增大第1電力電路與磁傳感器之間的間隔距離、或第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。作為理想的技術(shù)方案，自所述電路基板的法線方向觀察時(shí)，隔著經(jīng)過所述電路基板的中心的直線在所述第1電力電路或所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置的相反側(cè)存在所述檢測(cè)電路的配置位置。由此，能夠進(jìn)一步增大第1電力電路與磁傳感器之間的間隔距離、或第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。作為理想的技術(shù)方案，還具備與所述電路基板相連接的連接器，自所述軸的軸向觀察時(shí)，所述連接器...

譬如增設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細(xì)介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關(guān)系，可對(duì)兩個(gè)滑道的傾角進(jìn)行調(diào)整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時(shí)，摩擦系數(shù)變化所帶來的影響。此外，對(duì)于長距離滑道運(yùn)輸?shù)膱?chǎng)景，還可在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上增設(shè)前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對(duì)接于前段設(shè)備，在本實(shí)施例中，因?yàn)榍岸卧O(shè)備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設(shè)有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時(shí)為防止物料卡包，對(duì)u字形缺口的邊緣進(jìn)行卷邊處理。為了對(duì)前段滑道400進(jìn)行必要的支撐...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功...

隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動(dòng)馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動(dòng)而產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時(shí)，在所述檢測(cè)電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述...

能夠抑制磁傳感器相對(duì)于磁體的振動(dòng)。由此，能夠進(jìn)一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測(cè)磁體的旋轉(zhuǎn)角度。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體具有環(huán)形狀，在自所述軸的軸向俯視時(shí)，所述通孔位于所述彈性體的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，當(dāng)彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時(shí)，壁部的環(huán)被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M(jìn)入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對(duì)的面設(shè)置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對(duì)的面?zhèn)?。能夠防止彈性體相對(duì)于壁部錯(cuò)...

根據(jù)不同客戶的不同的需求，費(fèi)蘭智能設(shè)備一般都生產(chǎn)出不同類型的助力機(jī)械手產(chǎn)品，主要就是根據(jù)用戶的需求定制，其中包括軟索式助力機(jī)械手、硬臂式助力機(jī)械手、碼垛機(jī)械手、KBK軌道、助力機(jī)械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結(jié)構(gòu)有一定的形同部分的，也就是助力機(jī)械手主要的功能部件！一、主機(jī)部分：可實(shí)現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作?？蛰d、滿載及處理不同工件時(shí)，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實(shí)現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動(dòng)狀態(tài)，便于精確定位。全程平衡、運(yùn)動(dòng)順滑等特點(diǎn)，使得操作者可以很便捷地實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機(jī)械手帶工件越過障礙；系統(tǒng)可始終保持機(jī)械手頭部的水平...

所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)的傳動(dòng)比為1:2:1。上述技術(shù)方案中，的，所述的伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有一級(jí)同步輪，所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有二級(jí)同步輪，所述的一級(jí)同步輪和所述的二級(jí)同步輪通過一級(jí)同步帶傳動(dòng)連接。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級(jí)伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述一級(jí)同步帶相配合的一級(jí)張緊輪。上述技術(shù)方案中，的，所述的二級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有三級(jí)同步輪，所述的三級(jí)關(guān)節(jié)上設(shè)置有四級(jí)同步輪，所述的三級(jí)...

機(jī)械手主機(jī)是實(shí)現(xiàn)物料（或工件）在空中無重力化浮動(dòng)狀態(tài)的主體裝置。機(jī)械手則是實(shí)現(xiàn)工件抓取，并完成用戶相應(yīng)搬運(yùn)和裝配要求的裝置。安裝結(jié)構(gòu)則是根據(jù)用戶服務(wù)區(qū)域及現(xiàn)場(chǎng)狀況要求以支撐整套設(shè)備的機(jī)構(gòu)。助力機(jī)械手產(chǎn)品系列為實(shí)現(xiàn)物料移載的省力操作，國內(nèi)機(jī)械手的專業(yè)廠商已推出豐富的平衡吊機(jī)型，滿足不同行業(yè)中不同物料不同工藝要求的搬運(yùn)需要。按工作原理不一樣，有臂桿式和軟索式。其中臂桿式平衡吊又因工作曲線差異，有PBF、PBC等；軟索式則因主體執(zhí)行元件不同，分卷筒式（IRB）和直線氣缸式（PBB）、鋼絲繩式和鏈條式等。根據(jù)動(dòng)力源不同，有氣動(dòng)式和電動(dòng)式（EBC）等。另外，按系統(tǒng)所采用基座不同，有落地固定式、落...

起到防滑作用。固定夾和轉(zhuǎn)動(dòng)夾閉合后形成一個(gè)由四個(gè)沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個(gè)垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，固定夾持機(jī)構(gòu)與長度調(diào)整機(jī)構(gòu)之間通過萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)連接。萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉(zhuǎn)動(dòng)。使得長度調(diào)整機(jī)構(gòu)也可自由轉(zhuǎn)動(dòng)，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調(diào)整機(jī)構(gòu)使其不再轉(zhuǎn)動(dòng)。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調(diào)整機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉(zhuǎn)動(dòng)自動(dòng)停止。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，外調(diào)節(jié)桿可往復(fù)移動(dòng)地套設(shè)在內(nèi)調(diào)節(jié)桿上，內(nèi)調(diào)節(jié)桿上設(shè)有多個(gè)固定孔。而外調(diào)節(jié)桿上設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)。航天員可通過撥動(dòng)開...

末端扶手301同樣為矩形框，有兩個(gè)長邊梁和兩個(gè)短邊梁組成。連桿302為圓柱形桿件，其可轉(zhuǎn)動(dòng)地插在末端扶手301的一個(gè)長邊梁上，且該長邊梁與兩個(gè)短邊梁連接處為圓弧形。由此，末端扶手301可繞連桿302的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。結(jié)合圖6可知，萬向接頭結(jié)構(gòu)5包括球形槽501和第二球頭502。球形槽501為一個(gè)由兩部分組成的空心殼體，其一部分為截頭圓錐形殼體，另一部分為從截頭圓錐形殼體錐底向遠(yuǎn)處延伸的一段球面殼體。截頭圓錐形殼體的錐頂固定在外調(diào)節(jié)桿202未開口的一端。而球形槽501的球面殼體部分遠(yuǎn)離外調(diào)節(jié)桿202的一端設(shè)有開口。如圖9所示，第二球頭502固定在連桿302遠(yuǎn)離末端扶手301的一端。其設(shè)置在球形...

如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機(jī)34、一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33，所述的一級(jí)伸展臂31與所述伸展電機(jī)34之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)5，所述的一級(jí)伸展臂31與所述的二級(jí)伸展臂32之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)6，所述的二級(jí)伸展臂32和所述的手指固定座33之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)7。所述的伸展電機(jī)34通過諧波減速機(jī)35驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)。所述的伸展電機(jī)34、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7依次傳動(dòng)，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7的傳動(dòng)比為1:2:1，根據(jù)本機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)原理，所述的手...

蝸桿旋轉(zhuǎn)的同時(shí)通過與兩個(gè)支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進(jìn)行提升，進(jìn)而可對(duì)板材進(jìn)行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機(jī)與第二電機(jī)反轉(zhuǎn)，即可重復(fù)作業(yè)，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置對(duì)機(jī)械手進(jìn)行移動(dòng)，以增加機(jī)械手對(duì)板材的移動(dòng)范圍。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單易于實(shí)現(xiàn)，通過各個(gè)部件間的相互配合可對(duì)板材進(jìn)行穩(wěn)固的夾取并提升，節(jié)約了人力勞動(dòng)提高了效率，除此之外機(jī)械手還可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行操作，以保護(hù)人身安全。附圖說明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手的橫板與移動(dòng)夾板的連接示意圖；圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)...

所述壁部與散熱器形成為一體。由此，在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界，因此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。另外，壁部的材料與散熱器相同，例如是金屬。若壁部的材料為金屬，則在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間能夠屏蔽磁場(chǎng)。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器具有設(shè)于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能夠分開制造散熱器和壁部。作為理想的技術(shù)方案，還具備設(shè)于所述壁部的內(nèi)周面的磁屏蔽層。由此，即使壁部由樹脂制成，在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間也能夠屏蔽磁場(chǎng)。再一技術(shù)方案的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置具備：電動(dòng)馬達(dá)，其包含軸、與所述軸連動(dòng)的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線...

而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置以使得機(jī)械手的移動(dòng)范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機(jī)2，第1電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板10，兩個(gè)支撐板1...

對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。在針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行描述時(shí)，術(shù)語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”所表達(dá)的方位或位置關(guān)系是基于相關(guān)附圖所示的方位或位置關(guān)系，其只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此上述術(shù)語不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)地描述，實(shí)施方式不能在此一一贅述，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不因此限定于以下實(shí)施方式。圖1是示意性表示根據(jù)...

而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時(shí)，通過改變傾角來適應(yīng)摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的鉸接組件結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的絞索固定件的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例只只用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因?yàn)樗?00要對(duì)鉸接組件130提供穩(wěn)定...

本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手運(yùn)行速度低，定位精度差的問題。本機(jī)械手包含3個(gè)軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個(gè)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)分別為一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)之間的傳動(dòng)比為1:2:1，伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)，通過一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)帶動(dòng)二級(jí)伸展臂和手指固定座的移動(dòng)，間接將第1級(jí)關(guān)節(jié)遠(yuǎn)端的一級(jí)同步帶輪變?yōu)橹鲃?dòng)輪，通過這種結(jié)構(gòu)，可以在一級(jí)伸展臂和二級(jí)伸展臂移動(dòng)時(shí)，保持手指固定座的始終直線運(yùn)動(dòng)，既晶圓中心始終保持直線運(yùn)動(dòng)，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機(jī)械手整體強(qiáng)度，達(dá)到高速度運(yùn)行和重復(fù)定位精度高的雙...

能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在與軸的軸向交叉的方向上進(jìn)一步遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器具有凹部和凸部中的一者，所述適配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能夠?qū)⑦m配器相對(duì)于散熱器定位。作為理想的技術(shù)方案，還具備配置于所述凹部的第1粘接劑，利用所述第1粘接劑將所述散熱器和所述適配器粘接起來。由此，能夠確保適配器不脫離散熱器。作為理想的技術(shù)方案，還具備：蓋體，其覆蓋所述電路基板；以及快速裝配機(jī)構(gòu)，其將所述蓋體固定于所述散熱器，所述快速裝配機(jī)構(gòu)的卡定部和被卡定部中的一者設(shè)于所述蓋體的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者設(shè)于所述散熱器的外...

能夠抑制磁傳感器相對(duì)于磁體的振動(dòng)。由此，能夠進(jìn)一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測(cè)磁體的旋轉(zhuǎn)角度。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體具有環(huán)形狀，在自所述軸的軸向俯視時(shí)，所述通孔位于所述彈性體的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，當(dāng)彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時(shí)，壁部的環(huán)被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M(jìn)入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對(duì)的面設(shè)置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對(duì)的面?zhèn)?。能夠防止彈性體相對(duì)于壁部錯(cuò)...

該多個(gè)肋將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。作為理想的技術(shù)方案，所述多個(gè)肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置。由此，在壁部的周圍，能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案，還具備帽，該帽安裝于所述壁部的靠所述電路基板側(cè)的端部，所述帽具有與所述磁體相對(duì)的頂板部和對(duì)所述頂板部的外周進(jìn)行支承的緣部，所述頂板部的材料是樹脂。由此，從磁體發(fā)出的磁通能夠透過帽的頂板部，磁傳感器能夠檢測(cè)該磁通。不必為了使磁通透過而從壁部的端部拆下帽。因此，在電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的組裝工序中，不需要拆下帽的工序，能夠抑制工序數(shù)量的增大。另外，在電路基板安裝于散...

抓取運(yùn)動(dòng)的物件）情況，決定了手指是的大小、形狀、個(gè)數(shù)、種類配置和動(dòng)作，而這些又決定了手指的抓取機(jī)能（即該手指能抓取的極限尺寸；手指對(duì)物件的約束和握緊程度；抓取精度-定位精度等）。2、手指的種類機(jī)械手的手指有機(jī)械式和吸盤式兩種形式。人手抓取物件時(shí)，手指常與手掌相對(duì)握緊。機(jī)械式手指沒有手掌，全靠手指握緊物件；而吸盤式手指則剛好相當(dāng)于只有手掌吸附物件。機(jī)械式手指的應(yīng)用比較。機(jī)械式手指常按指根的動(dòng)作及手指的數(shù)目或手指的形狀進(jìn)行分類。（1）按指根的動(dòng)作不同分類回轉(zhuǎn)型手指：手指的張開與閉合是靠指根的回轉(zhuǎn)動(dòng)作完成的。無關(guān)節(jié)手指的本體是一個(gè)直構(gòu)件；固定關(guān)節(jié)指的本體是一個(gè)彎構(gòu)件，即在指的中間處形成一個(gè)“...

其包含軸、與所述軸連動(dòng)的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個(gè)系統(tǒng)且用3相交流電對(duì)所述定子芯進(jìn)行勵(lì)磁的多個(gè)線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個(gè)線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對(duì)所述電動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制而設(shè)置的，包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測(cè)電路，其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器...

機(jī)械手停止作業(yè)，避免意外的傷害。e）設(shè)備配套安全控制系統(tǒng)，在操作時(shí)，系統(tǒng)不會(huì)因?yàn)檎`動(dòng)作，而突然改變負(fù)載或空載壓力，因此機(jī)械手不會(huì)因此快速上升或下降而對(duì)人身、設(shè)備和產(chǎn)品造成傷害。助力機(jī)械手發(fā)展趨勢(shì)世界工業(yè)機(jī)械手均有高精化，高速化，多軸化，輕量化的發(fā)展趨勢(shì)。定位精度可以滿足微米及亞微米級(jí)要求，將機(jī)械手、柔性制造系統(tǒng)和柔性制造單元相結(jié)合，從而根本改變機(jī)械制造系統(tǒng)的人工操作狀態(tài)。隨著機(jī)械手的小型化和微型化，其應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?huì)突破傳統(tǒng)的機(jī)槭領(lǐng)域，而向著電子信息、生物技術(shù)、生命科學(xué)及航空航天等行業(yè)發(fā)展[3]。助力機(jī)械手助力機(jī)械手分類助力機(jī)械手分為：硬臂式助力機(jī)械手、軟索式助力機(jī)械手、折臂吊、電動(dòng)平衡吊...

本發(fā)明涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手。背景技術(shù)：板材是做成標(biāo)準(zhǔn)大小的扁平矩形建筑材料板，應(yīng)用于建筑行業(yè)，用來作墻壁、天花板或地板的構(gòu)件。也多指鍛造、軋制或鑄造而成的金屬板。板材可劃分為薄板、中板、厚板、特厚板、通常做成標(biāo)準(zhǔn)大小的扁平矩形建筑材料板。現(xiàn)有技術(shù)中在板材的生產(chǎn)與搬運(yùn)過程中依然存在著依靠人力勞動(dòng)進(jìn)行對(duì)板材的搬運(yùn)，人力作業(yè)方式效率低下同時(shí)對(duì)于一些體積大質(zhì)量比較重的板材搬運(yùn)時(shí)往往無法進(jìn)行操作，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，除此之外對(duì)與在惡劣的環(huán)境中依靠人力便會(huì)對(duì)人體造成危害，因此針對(duì)此類問題需要進(jìn)行改進(jìn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的人力搬運(yùn)板材費(fèi)...

其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測(cè)電路，其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；以及控制電路，其包含對(duì)所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述蓋體具有：蓋體主體；以及...

而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置以使得機(jī)械手的移動(dòng)范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機(jī)2，第1電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板10，兩個(gè)支撐板1...